EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC керамикалық мембрана
Semixlab Semiconductor әзірлеген SiC керамикалық мембранасы - бұл CVD, MOCVD және PECVD процестеріндегі ультра таза және жоғары температуралы орталарға арналған дәлдікпен жасалған кеуекті кремний карбиді компоненті. Ерекше химиялық тұрақтылығымен, механикалық беріктігімен және жылу өткізгіштігімен ол жартылай өткізгіштерді өндіру реакторларында газ ағынын сенімді басқаруды, бөлшектерді сүзуді және ластануды болдырмауды қамтамасыз етеді.
сипаттамасы
Жетілдірілген жартылай өткізгіш өндірісінде SiC керамикалық мембранасы процестің тұрақтылығына, пластинаның біркелкілігіне және жалпы өнімділік көрсеткіштеріне тікелей әсер ететін көп функциялы компонент ретінде қызмет етеді. CVD, MOCVD және PECVD жүйелерінде ол ағын динамикасын, жылу тепе-теңдігін және ластануды басуды дәл бақылауды қамтамасыз ететін технологиялық газдар мен реакция ортасы арасындағы маңызды интерфейс ретінде қызмет етеді.
Біркелкі кеуекті архитектурасы арқылы SiC мембранасы пластинаның беті бойынша ламинарлы және біркелкі бөлінген газды жеткізуге ықпал етеді. Бұл біркелкі ағын өрісі прекурсорлар концентрациясының жергілікті ауытқуларын азайтады, осылайша эпитаксиалды немесе диэлектрлік тұндыру кезінде пленка қалыңдығының біркелкілігін және композициялық консистенциясын арттырады. Сонымен қатар мембрананың жұқа кеуекті құрылымы конденсаттарды, көміртегі қалдықтарын және субмикрондық бөлшектерді белсенді пластиналық аймаққа жеткенге дейін ұстап тұратын тиімді жоғары температуралы бөлшектер сүзгісінің рөлін атқарады — ақау тығыздығын азайтудың және құрылғының жоғары сенімділігін сақтаудың маңызды факторы.
Ағын мен фильтрациядан басқа SiC керамикалық матрицасы технологиялық камерада берік термиялық және химиялық кедергіні қамтамасыз етеді. Ол сезімтал компоненттерді реактивті түрлерден оқшаулайды, кері ластануды азайтады және ұзартылған өндірістік циклдар кезінде камера тазалығын сақтайды. Шығарылатын аймақтарда қысымды тұрақтандыру және қалдық жанама өнімдерді ұстау үшін бірдей мембраналық технологияны қолдануға болады, бұл сору желілерін тазартуға және техникалық қызмет көрсету аралықтарын ұзартуға ықпал етеді.
Бұл функцияларды бір берік құрамдас бөлікке біріктіру арқылы SiC керамикалық мембранасы CVD және MOCVD реакторларының жұмыс тиімділігін жақсартып қана қоймайды, сонымен қатар келесі буын жартылай өткізгіш өндірісінің қатаң тазалығы мен өнімділік талаптарына жауап беретін тұрақты және қайталанатын технологиялық ортаны қамтамасыз етеді.
SiC керамикалық мембранасы қалай жасалады
Semixlab өнім дүкені
