EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
TaC қапталған графит сақинасы
Semixlab компаниясының TaC қапталған графит сақиналары жартылай өткізгіштерді өндіруде ерекше өнімділік үшін жасалған. Біздің жоғары тазалықтағы тантал карбиді (TaC) CVD жабын сақиналары CVD, PVD және плазмалық өңдеу процестері үшін қажет, бағыттаушы сақиналар, фокус сақиналары және лайнер сақиналары ретінде қызмет етеді. Бөлшектердің ластануын азайтып, берік және сенімді құрамдас бөліктердің көмегімен пластинаның шығымдылығын арттырыңыз.
сипаттамасы
Semixlab TaC қапталған графит сақинасы негізінен жартылай өткізгіштерді өндіру жабдықтарында қолданылатын маңызды компонент болып табылады. Ол тантал карбиді (TaC) қабатымен мұқият қапталған жоғары таза графиттік субстраттан тұрады. Бұл жетілдірілген жабын астындағы графитті қатал химиялық ортадан және жоғары температуралық жағдайлардан қорғайтын жоғары бетті қамтамасыз етеді.
Біздің TaC қапталған графит сақиналары химиялық буларды тұндыру (CVD), физикалық буларды тұндыру (PVD) және плазмалық оюлау сияқты процестерде маңызды рөл атқарады. Олар соңғы жартылай өткізгіш пластинаның тұтастығы мен сапасын қамтамасыз ететін қорғаныс тосқауылы, бағыттаушы сақина немесе реакциялық камерада негізгі құрылымдық бөлік ретінде қызмет етеді.
Техникалық сипаттамалары
| Тантал карбиді (TaC) жабынының физикалық қасиеттері | |
| тығыздығы | 14.3 (г/см³) |
| Меншікті эмиссия | 0.3 |
| Жылу кеңею коэффициенті | 6.3*10-6/K |
| Қаттылық (HK) | 2000 HK |
| қарсыласу | 1 × 10-5 Ом*см |
| Жылу тұрақтылығы | <2500 ℃ |
| Графит өлшемі өзгереді | -10~-20ум |
| Қалыңдығын жабу | ≥20um типтік мән (35um±10um) |
Бағдарламалар
Жартылай өткізгіштік процестердегі қолданбалар
Жартылай өткізгішті өндіруге арналған TaC қапталған графит сақиналарының берік қасиеттері оларды бірнеше негізгі қолданбаларда таптырмас етеді.
1. Химиялық булардың тұндыру (CVD)
Газдар пластинкаларға жұқа қабықшаларды қою үшін жоғары температурада әрекеттесетін CVD процестерінде реакция камерасы өте агрессивті орта болып табылады. Біздің CVD TaC қапталған сақиналар қабылдағыш сақиналар, бағыттаушы сақиналар және лайнер сақиналары ретінде пайдаланылады. Олар коррозиялық газдар мен химиялық шабуылдардан ерекше қорғауды қамтамасыз етеді, бөлшектердің ластануын болдырмайды және пластинаның біркелкі қалыңдығын қамтамасыз етеді. TaC жоғары термиялық тұрақтылығы тіпті экстремалды температурада тұрақты жұмыс істеуге мүмкіндік береді.
2. Будың физикалық тұндыру (PVD)
PVD шашырату және электронды сәулені булану үшін біздің сақиналар вакуумдық камераның маңызды компоненттері ретінде қызмет етеді. Олар басқа сезімтал бөліктерді қоқыстардың шашырауынан және плазмалық бомбалаудан қорғайтын қорғаныс сақиналары немесе бағыттаушы сақиналар ретінде әрекет етеді. TaC жабынының ерекше қаттылығы мен тығыздығы оны бөлшектердің эрозиясына жоғары төзімді етеді, бұл құрамдас бөліктердің деградациясының және одан кейінгі пластиналық ақаулардың қаупін күрт төмендетеді.
3. Плазмалық ою
Плазмамен өрнектеу кезінде материалды вафлиден таңдап алу үшін жоғары реактивті плазма қолданылады. Бұл процесс компоненттерді қамтиды
бәсекелестік артықшылықтарын
Semixlab TaC қапталған графит сақиналарының артықшылықтары
1. Жоғары төзімділік
●Тығыз CVD TaC жабыны жалаңаш графитке қарағанда плазмаға, химиялық шабуылға және механикалық тозуға төзімді.
2. Жартылай өткізгіштердің шығымдылығы үшін жоғары тазалық
●Иондық ластануды азайту үшін өте төмен қоспасы бар графитпен және жоғары тазалықтағы TaC жабынымен жасалған.
3. Дәл өңдеу және жабуды басқару
●Тығыз төзімділік үшін кеңейтілген өңдеу; тұрақты өнімділік үшін біркелкі жабын қалыңдығы.
4. Теңшеу және инженерлік қолдау
●Әртүрлі диаметрлерге, көлденең қима профильдерге, жабын қалыңдығына және тығыздау мүмкіндіктеріне арналған опциялар.
●Техникалық консультациялар процеске тән конструкциялар үшін.
5. Жылдам прототиптеу және жаһандық жеткізу
●Жылдам үлгі өндірісі, жаһандық логистика және сенімді жеткізу уақыты.
біздің қызметтер
Semixlab өнім дүкені
