SiC керамика

SiC керамикасы жартылай өткізгіш жабдықтарда барған сайын көбірек қолданылады, себебі олар қиын жағдайларда жақсырақ сақталады. Температура көтерілгенде немесе процесс агрессивті болғанда, кварц немесе кремний сияқты материалдар шектеулі болуы мүмкін, және әдетте SiC пайда болады. Тотығу немесе диффузия сияқты пеш процестерінде SiC-ден жасалған пластиналы қайықтар немесе ескек тәрізді бөлшектер ұзақ қызмет етеді. Олар пішінін сақтайды және ұзақ уақыт жұмыс істегеннен кейін де көп ластану әкелмейді. Адамдар көбінесе осы себепті кварцтан ауысады, әсіресе техникалық қызмет көрсету тым жиі болған кезде.

Ою үшін SiC көбінесе плазмада ұзақ сақталатындықтан таңдалады. Кремний бөлшектерімен салыстырғанда қызмет ету мерзімінің айырмашылығы көптеген қондырғыларда байқалады, дегенмен бұл әлі де нақты процеске байланысты. Сондай-ақ, бұл бөлшектерді басқаруға көмектеседі, ол түйіндер кішірейген сайын сезімтал болады. Сондай-ақ, SiC MOCVD немесе CVD-де сусцепторлар ретінде қолданылатынын көресіз. Мұндай жағдайларда мәселе «беріктік» туралы емес, температураның тұрақтылығын сақтау туралы. Одан тыс, ол камера бөлшектерінде, мысалы, төсемдерде немесе душ бастарында, кейде компоненттерді өңдеуде де көрінеді.