Кварц бөлшектері

Кварц әлі де жартылай өткізгіштерді өңдеуде барлық жерде қолданылады. Бұл жаңалық емес, бірақ сенімді, және көптеген фабрикалар оның қалай жұмыс істейтінін біледі. Тазалық бақыланғанша, ол диффузия, тотығу және тазалау кезеңдерінде жақсы жұмыс істейді.

Көптеген кварц бөлшектері пеш жүйелеріне немесе PECVD құралдарына түседі. Негізгі күтілетін нәрсе - тұрақтылық - міндетті түрде ұзақ қызмет ету мерзімі емес, болжамды өнімділік. Бұл әдетте көптеген стандартты процестер үшін жеткілікті.

Әрине, кварцтың да өз шектеулері бар. Ол белгілі бір жағдайларда, әсіресе SiC-мен салыстырғанда, тезірек тозады. Бірақ оны алу салыстырмалы түрде оңай және тым қымбат емес болғандықтан, адамдар оны әлі де көп пайдаланады.