TaC қапталған жарықдиодты эпи сенсоры

TaC қапталған жарықдиодты эпи сепкіш MOCVD (металл органикалық химиялық буларды тұндыру) жабдығы үшін арнайы әзірленген және жарықдиодты эпитаксиалды пластиналарды жоғары температурада тұндыру процесіне жарамды жоғары тазалықтағы тантал карбиді (TaC) жабу технологиясын қабылдайды. Өнімнің тамаша жоғары температураға төзімділігі, коррозияға төзімділігі және термиялық тұрақтылығы бар, ол ластануды және бөлшектердің төгілуін айтарлықтай азайтады және қызмет ету мерзімін ұзартады. Бұл жарықдиодты эпитаксиалды пластинаның өнімділігін және өндіріс тиімділігін арттыру үшін тамаша таңдау.

қолдану:

TaC жабыны бар жарықдиодты эпи сепкіш MOCVD жабдығы үшін арнайы әзірленген және негізінен жарықдиодты эпитаксиалды пластиналар өндірісінде, әсіресе галий нитриді (GaN) негізіндегі көк және ультракүлгін жарықдиодтардың эпитаксиалды өсуі үшін қолданылады. Ол сондай-ақ SiC/GaN қуатты жартылай өткізгіш құрылғыларының өндірістік қажеттіліктерін қанағаттандыра алады және ғылыми-зерттеу институттарында жоғары температурада CVD, MBE және басқа материалды тұндыру эксперименттері үшін жарамды.

Көрсетілуі мүмкін қызметтер:

тұтынушыны қолдану сценарийін талдау, сәйкес материалдар, техникалық мәселелерді шешу.

Компания туралы мәлімет:

Semixlab-тың 2 зертханасы, 20 жылдық материалдық тәжірибесі бар, ҒЗТКЖ және өндіру, сынау және тексеру мүмкіндіктері бар сарапшылар тобы бар.

Техникалық параметрлері

Қолданбаның негізгі өрістері

Экологиялық тізбекті растау

Semixlab TaC жабыны бар жарықдиодты эпизосептордың экологиялық тізбегін тексеру өндіріске шикізатты қамтиды, халықаралық стандартты сертификаттаудан өтті және жартылай өткізгіштер мен жаңа энергетикалық салаларда оның сенімділігі мен тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін бірқатар патенттелген технологияларға ие.

Типтік қолдану процесі

Шикізатты дайындау (жоғары таза графитпен тексеру) → Субстрат дайындау (изостатикалық престеу) → TaC жабу процесі (CVD тұндыру) → кейінгі өңдеу (дәл жылтырату) → сапаны тексеру → орау және жеткізу

Жарық диодты технологиясы кішірек өлшемдерге және Mini LED және Micro LED сияқты жоғары дәлдікке қарай дамып келе жатқандықтан, MOCVD жабдығының тұрақтылығы мен процесін басқару талаптары барған сайын жоғарылауда. TaC жабынымен қапталған LED эпи сенсорын жылжыту бар LED өндірісінің тиімділігін арттырып қана қоймайды, сонымен қатар дисплей технологиясының келесі буыны үшін сенімдірек өндірістік негізді қамтамасыз етеді.

Егжей-тегжейлі техникалық сипаттамаларды, ақ қағаздарды немесе сынақ үлгілерін алу үшін Semixlab процесіңіздің тиімділігін қалай арттыратынын білу үшін техникалық қолдау көрсету тобына хабарласыңыз.

Semixlab TaC жабыны бар жарық диодты эпи сепкіш негізгі артықшылықтары

Өте жоғары температураға төзімділік

TaC жабыны бар жарықдиодты эпитаксиалды сенсорлар 1200°C жоғары температуралық ортада ұзақ уақыт бойы тұрақты жұмыс істей алатын жоғары таза тантал карбиді материалынан жасалған. Тіпті MOCVD процесінің экстремалды температуралық жағдайында да жабын жарылып кетпейді немесе қабыршақтанбайды, бұл эпитаксиалды өсу процесінің біркелкілігі мен дәйектілігін қамтамасыз етеді және өнім шығымдылығын тиімді арттырады.

Коррозияға төзімділігі жоғары

Жарықдиодты эпитаксиалды пластиналарды өндіру процесі кезінде суссептор ұзақ уақыт бойы H2 және NH3 сияқты коррозиялық газ орталарына әсер етуі керек. TaC жабыны өте күшті химиялық инерттілікке ие және газ эрозиясына тиімді қарсы тұра алады және тотығу немесе реакция нәтижесінде пайда болатын қоспаларды болдырмайды, осылайша эпитаксиалды пластинаның тазалығы мен оптоэлектрондық өнімділігін қамтамасыз етеді.

Төмен термиялық деформация

TaC жабынының термиялық кеңею коэффициенті графиттік негіздікіне жоғары сәйкес келеді және суссептор температураның жылдам көтерілуі мен төмендеуі кезінде де өте төмен жылулық деформация жылдамдығын сақтай алады. Бұл мүмкіндік эпитаксиалды пластинаның деформациялану қаупін айтарлықтай төмендетеді, эпитаксиалды қабаттың біркелкі өсуін қамтамасыз етеді және өнімнің консистенциясын жақсартады.

Жоғары бетті өңдеу

Қабылдағыш беті дәл жылтыратылған, кедір-бұдырлығы 0.5 мкм-ден төмен бақыланады, бұл эпитаксиалды өсу кезінде ақау жылдамдығын тиімді төмендетеді. Тегіс бет сонымен қатар эпитаксиалды пластиналар мен сусептор арасындағы адгезияны азайтады, бұл пластинаны алуды жеңілдетеді және пластинаның сыну қаупін азайтады.

Ұзақ өмірлік дизайн

Дәстүрлі графит қабылдағыштармен салыстырғанда, TaC жабыны жақсы тозуға және коррозияға төзімділікке ие және оның қызмет ету мерзімін 3 еседен астам арттыруға болады. Бұл тек шығын материалдарын ауыстыру жиілігін азайтып қана қоймайды, сонымен қатар ұзақ мерзімді перспективада өндіріс шығындарын айтарлықтай азайтуға мүмкіндік беретін суссептордың қартаюынан туындаған технологиялық ауытқуларды азайтады.