Қолданылатын материалдар AMAT кварц сақинасы

Semixlab жоғары дәлдіктегі кварц сақинасын қамтамасыз етеді. Бұл өнім негізінен PECVD процесінде жоғары сапалы пленкалардың тұрақты тұндыруын қамтамасыз ету үшін қолданылады, сонымен бірге жабдықтың өндірістік тиімділігін және пластинаның шығымдылығын арттырады. Плазманың таралуы геометриялық дәлдікпен (±0.1 мм) шектелген, реакциялық газ ағынының өрісі оңтайландырылған және пленканың біркелкілігі σ≤1.5% дейін жақсартылған. Адсорбция процесінің жанама өнімдері пластинаның ақауының жылдамдығын 30%-ға төмендетті.

Қысқаша мәліметтер:

Лақап аттар: Кварц сақинасы, Si пластинасы, кварц сақинасы жинағы, кварц сақинасы жинағы, жоғарғы камера сақинасы, PECVD тұндыру сақинасы, газ тарату сақинасы

Мақсаты: Жабдықтың өндірістік тиімділігін және пластинаның шығымдылығын арттыра отырып, PECVD процесінде жоғары сапалы пленкалардың тұрақты тұндыруын қамтамасыз етіңіз.

Негізгі параметрлер: Бұл әсіресе SiN (кремний нитриді) тұндыру процестері үшін ұсынылады, жоғары тазалықтағы кварц және арнайы жабын қызметтері ұсынылуы мүмкін. Ол 300-ден 400℃+ дейінгі жоғары температураға төтеп бере алады, кварц тазалығы ≥99.99%, металл қоспасының мөлшері 5ppm-ден аз, көпіршік/қосу диаметрі ≤0.1мм және текше сантиметрге ≤3 саны бар плазма эрозиясына төтеп бере алады.

Негізгі функциялары мен рөлдері:

●Камераның негізгі компоненттері: PECVD технологиялық камерасының ішінде орналасқан олар реакция аймағының маңызды шекарасын құрайды.

●Жоғары температураға және плазмаға төзімділік: Тазалығы жоғары кварцтан жасалған, ол жоғары температураға тамаша төзімділікпен ерекшеленеді (PECVD процесінің температурасы әдетте 300°C пен 400°C+ аралығында болады) және плазмалық эрозияға төзімділік.

●Электрлік оқшаулау/оқшаулау: Ол плазманың тұрақты генерациясын және процестің біркелкілігін қамтамасыз ететін камераның ішіндегі электрлік оқшаулауда шешуші рөл атқарады.

●Техникалық газды тығыздау:Камера ішіндегі технологиялық газ ортасының герметизациясын сақтауға көмектесу.

●Вафельді процесс ортасының анықтамасы: Оның геометриясы мен бетінің күйі газ ағынының және пластинаның үстіндегі плазманың таралуына тікелей әсер етеді, бұл жұқа қабықшаның тұндыруының біркелкілігі мен сапасы үшін өте маңызды.

●Беттік жабын: Арнайы процестерде қолданылатын кейбір кварц сақиналары (мысалы, SiN) жанама өнімнің тұнбасын одан әрі азайту немесе нақты процестер кезінде өнімділік пен қызмет ету мерзімін арттыру үшін арнайы жабындармен (мысалы, иттрий оксиді Yttria) қапталуы мүмкін.

Қолданбалы материалдар AMAT кварц сақинасы Қолдану сценарийлері