EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Тазалығы жоғары SiC вафельді қайық
Қытайдың жетекші өндірушісі және жоғары таза SiC вафли қайығын жеткізуші ретінде Semixlab компаниясының кремний карбиді пластинкалы қайығы тамаша термиялық тұрақтылығы, коррозияға төзімділігі және механикалық беріктігі арқасында LPCVD, тотығу және күйдіру сияқты негізгі технологиялық буындарда кеңінен қолданылады. Бөлшектердің ластануын азайтатын, қызмет ету мерзімін ұзартатын және вафли қауіпсіздігін қамтамасыз ететін SiC вафли қайығын іздесеңіз, бұл өнім сіздің тамаша таңдауыңыз болады.
сипаттамасы
Жартылай өткізгіштерді өндіру саласында жоғары температуралық процестер пластинаны тасымалдаушыларға үлкен қиындықтар туғызады. Температура 1600℃-ден асқанда, дәстүрлі кварц тасымалдаушы (вафельді пайдаланатын кварц қайық) жұмсартып, деформациялай бастайды және ластаушы заттарды босатады, бұл пластинаның сынықтары жылдамдығының жоғарылауына әкеледі.
Кремний карбидінің (SiC) тән материалдық артықшылықтары бар жоғары таза SiC вафли қайық бұл саланың ауыртпалығын толығымен шешеді және озық жартылай өткізгіштерді, әсіресе SiC қуат құрылғыларын өндіру үшін маңызды құралға айналады.
Техникалық сипаттамалары
Өнімнің негізгі физикалық қасиеттері мен техникалық параметрлері:
| Өнімділік көрсеткіштері | Тазалығы жоғары SiC вафельді қайық | Дәстүрлі кварцты тасымалдаушы | Жақсартылған артықшылықтар |
| Максималды жұмыс температурасы | 1800°C (үздіксіз) / 2000°C (ең жоғары) | 1200 ° C | Температураға төзімділік 50% жақсарды |
| Жылу өткізгіштік | 4.9 Вт/см·К (бөлме температурасы) | 1.5 Вт/см·K | Жылу бөлу тиімділігі 226%-ға артты |
| Жылу кеңейту коэффициенті | 4-5 × 10⁻⁶/К | 0.55 × 10⁻⁶/К | Термиялық тұрақтылық 7 есе жақсарды |
| Қаттылық | Mohs 9.2 (алмаздан кейінгі екінші) | Mohs 7 | Тозуға төзімділік 30 есе жақсарды |
| Вафельдің жанасу нүктесінің кернеуі | <5 МПа (тайғаққа қарсы дизайн) | > 20 МПа | Вафельдің сырғу жылдамдығы 80%-ға төмендеді |
| Бөлшектердің бөлінуі | 0 бөлшектер/см² (тазалық 100-сынып) | >50 бөлшектер/см² | Ластану нөлге жақын |
Кремний карбидті пластинаның (SiC Wafer Carrier) тамаша өнімділігі оның бірегей материалтану қасиеттерінен туындайды. Төменде негізгі физикалық параметрлерді егжей-тегжейлі салыстыру берілген:
Бұл параметрлер төменде көрсетілгендей, жартылай өткізгіштерді өндірудегі кірістіліктің жоғарылауына және шығындардың төмендеуіне тікелей әсер етеді:
Жылу өнімділігінің артықшылығы: SiC кең диапазоны (3.26 эВ) оның 2000°C температурада тұрақты кристалдық құрылымды ұстап тұруын қамтамасыз етеді және термиялық деформацияны болдырмайды. Жоғары жылу өткізгіштік (4.9 Вт/см·К) пластинаны біркелкі қыздыруға мүмкіндік береді және термиялық кернеуден туындаған тор ақауларын жояды.
Механикалық беріктігі: 9.2 Mohs қаттылығы процесс кезінде физикалық әсерге қарсы тұрады және қызмет ету мерзімі дәстүрлі кварцты тасымалдаушыларға қарағанда 10 еседен астам. Бірегей жартылай шеңберлі ұяшық дизайны 5МПа төмен вафли контактілі кернеуін басқарады, негізінен жоғары температура сырғу құбылысын жояды.
Химиялық инерттілік: HF және HCl сияқты жоғары коррозиялық газдарға төзімділік 10 000 сағаттан асады және LPCVD, диффузия, тотығу және басқа процестерде нөлдік ластану сақталады.
Бағдарламалар
Жоғары тазалықтағы SiC вафли қайығының негізгі рөлі
Біздің жоғары таза SiC вафли қайығымыз келесі негізгі жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде кеңінен қолданылады:
Жоғары температурадағы күйдіру: Sic пластина өндірушісінің өндірістік желісінде жоғары температурада күйдіру қоспаларды белсендіру және тор ақауларын жөндеудің негізгі қадамы болып табылады. SiC пластинкасының жоғары температура тұрақтылығы жасыту процесінің біркелкілігі мен тиімділігін қамтамасыз етеді.
Эпитаксиалды өсу: Кремний негізіндегі эпитаксия немесе кремний карбиді пластинка эпитаксисі болсын, SiC пластинкасының жоғары температураға төзімділігі және коррозияға төзімділігі оны эпитаксиалды қабаттың жоғары сапалы өсуін қамтамасыз ету үшін тамаша тасымалдаушы етеді.
тарату: Жоғары температуралы диффузиялық пеште LPCVD вафли қайығындағы SiC вафли қайығы легирленген атомдардың біркелкі диффузиясын қамтамасыз ету және дәл электрлік қасиеттерді қалыптастыру үшін ұзақ мерзімді жоғары температуралық өңдеуге төтеп бере алады.
Жұқа пленка тұндыру: Әсіресе Lpcvd вафли қайықтарының қолданбалары үшін SiC пластинкаларының өте төмен бөлшектердің төгілуі және тамаша жылу өткізгіштігі жоғары сапалы, жоғары біркелкі пленкаларды алуға көмектеседі.
Үйлесімді жабдық және процесс үйлесімділігі:
✔ Негізгі LPCVD пештерімен (мысалы, TEL, Kokusai, ASM, SVG, Tystar және т.б.) үйлесімді.
✔ 100мм/150мм/200мм сияқты реттелетін вафли сипаттамалары
✔ Көлденең және тік технологиялық жабдықты орнатуды қолдайды
Semixlab компаниясының SiC пластинкалы қайығы - процестің тиімділігі мен өнім шығымдылығын арттыру үшін тамаша таңдау және жартылай өткізгіш пластинкалы қайықтардың озық шешімдерінің көшбасшысы.
біздің қызметтер
Semixlab өнім дүкені
Semixlab өнімдерінің дүкендері
