EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Тазалығы жоғары кварцты диффузиялық түтік
Semixlab жартылай өткізгішті тотығу, диффузия және күйдіру процестеріне арналған жоғары тазалықтағы кварцты диффузиялық түтіктерді жобалауға және өндіруге маманданған Қытайдағы жетекші кварц құрамдас өндірушісі болып табылады. Өте таза балқытылған кремнеземнен (≥99.99% SiO₂) жасалған және дәл қалыптау және ластануды қатаң бақылау арқылы тазартылған, әрбір түтік тамаша термиялық тұрақтылықты және өте төмен металл қоспаларының деңгейін қамтамасыз етеді. Сіздің қосымша кеңесіңізді күтеміз.
сипаттамасы
Semixlab жоғары тазалықтағы кварц диффузиялық түтігі тотығуды, қоспаның диффузиясын және күйдіруді қоса алғанда, жартылай өткізгіш өндірісіндегі жоғары температуралық термиялық процестер үшін арнайы әзірленген.
Өте жоғары таза балқытылған кремнеземнен (≥99.99% SiO₂) жасалған әрбір түтік ерекше химиялық тұрақтылықты, ең аз ластануды және дәл термиялық біркелкілікті қамтамасыз етуге арналған — талап етілетін таза бөлме жағдайында вафельді өңдеу нәтижелерінің дәйектілігін қамтамасыз етеді.
Тік немесе көлденең диффузиялық пештерге біріктірілгеніне қарамастан, Semixlab кварц түтіктері IC, LED, MEMS және қуат құрылғыларын жасаудың қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін дәлдікпен жасалған және мұқият сыналған.
Бағдарламалар
Жартылай өткізгіштік процестердегі қолданбалар
1. Термиялық тотығу
Термиялық тотығу пештерінде кварцты диффузиялық түтіктер кремний пластиналары жоғары температурада (900–1150°C) O₂ немесе H₂O буының әсеріне ұшырайтын негізгі реакция камерасы ретінде әрекет етеді.
● SiO₂ біркелкі өсуі үшін таза және тұрақты оттегі ортасын қамтамасыз етеді.
● Металл иондарының ластануын жояды, қақпа және оқшаулау оксидтері үшін жоғары диэлектрлік тұтастығын қамтамасыз етеді.
Тазалығы жоғары кварцты диффузиялық түтік пластинаны өңдеу үшін өте қолайлы
2. Қоспалардың диффузиясы
Кварц диффузиялық түтіктері қажетті қосылыс профильдерін жасау үшін қоспа атомдарын (мысалы, фосфор немесе бор) кремний субстратына диффузиялау үшін қолданылады.
● Өте жақсы химиялық инерттілік POCl₃ немесе BBr₃ реакциялары кезінде ластануды болдырмайды.
● Галоген негізіндегі атмосферада да жоғары тазалықты сақтайды.
3. Күйдіру және кіргізу процестері
Иондарды имплантациялау немесе тұндырудан кейін пластиналар қоспаларды белсендіру және тордың зақымдалуын жөндеу үшін жоғары температурада жасытудан өтеді.
● Кварц түтіктері тұрақты және қайталанатын нәтижелер үшін термиялық біркелкі, ластануы төмен камераны қамтамасыз етеді.
● N₂ үшін де, газды жасыту орталары үшін де қолайлы.
4. LPCVD және R&D термиялық өңдеу
Шағын масштабты LPCVD немесе зерттеу пештерінде кварцты диффузиялық түтіктер реакция және оқшаулау камерасы ретінде қызмет ете алады.
● Полисилиций, кремний нитриді және оксидті қабықшаларды тұндыру үшін өте қолайлы.
● Төмен бөлшектердің түзілуін және жүгірулерде жоғары қайталану мүмкіндігін қамтамасыз етеді.
бәсекелестік артықшылықтарын
Semixlab артықшылықтары
1. Материалдың тазалығы және бақылануы
Әрбір кварц түтігі сертификатталған жеткізушілерден алынған ультра таза балқытылған кремнеземнен жасалған. ICP-MS талдау есептері сұраныс бойынша қол жетімді, бұл әр топтаманың қадағалануына кепілдік береді.
2. Дәлдік өндіріс және теңшеу
Semixlab тұтынушылар талап ететін пештің нақты өлшемдерін, жылу профильдерін және газ ағынының үлгілерін қанағаттандыру үшін теңшелген конструкцияларды ұсынады.
Опциялар:
● Тік немесе көлденең түтік конфигурациялары
● Өзгертілген диаметрлер, қабырға қалыңдығы және шеткі фланецтер
● Жылтыратылған немесе оюланған бетті өңдеу
● Көп пластиналы тасымалдағыштарға арналған арнайы өңдеу конструкциялары
3. Қатаң сынақ және сапаны қамтамасыз ету
Әрбір диффузиялық түтік жөнелту алдында өлшемді тексеруден, бетінің тұтастығын тексеруден және термиялық кернеуді модельдеуден өтеді. Бұл TEL, Kokusai, Centrotherm және ASM сияқты саладағы жетекші диффузиялық пеш жүйелерімен үйлесімділікті қамтамасыз етеді.
