TaC қапталған айналмалы тақта

Semixlab TaC қапталған айналмалы пластина жартылай өткізгіш эпитаксис, CVD және кристалдардың өсу процестерінде жиі кездесетін жоғары температура мен коррозиялық орталарға арналған. Бұл айналмалы пластиналар субстраттың үздіксіз айналуы кезінде вафельді тасымалдаушыларды немесе қабылдағыштарды қолдауда шешуші рөл атқарады, біркелкі жылу бөлуді және тұндыруды қамтамасыз етеді. Тантал карбиді (TaC) жабынын қолдану арқылы бұл компонент вакуумды және жоғары температуралы жартылай өткізгіштерді қажет ететін қолданбаларда ерекше беріктікке, термиялық тұрақтылыққа және процестің ұзақ өмір сүруіне қол жеткізеді.

Semixlab теңшеу және қолдау қызметтері

● Таңдамалы жабын қалыңдығы және геометриясы

200 мм, 300 мм немесе теңшелген айналмалы пластиналар үшін болсын, Semixlanb командасы технологиялық ортаңызға бейімделген геометрияға арналған арнайы TaC жабын шешімдерін ұсынады.

● Материалды таңдау бойынша кеңес беру

Графит, SiC немесе кварц субстраттары арасында шешім қабылдауға көмек керек пе? Біздің инженерлер TaC жабыны үшін оңтайлы негізгі материалды таңдауға көмектеседі.

● Жылдам прототиптеу және шағын пакеттік қызметтер

ҒЗТКЖ және тәжірибелік өндіріс үшін өте қолайлы, Semixlab қысқа мерзімдері бар төмен MOQ тапсырыстарын қолдайды.

● Жауапты сатудан кейінгі қолдау

Орнату нұсқаулығынан бастап жабын өнімділігін бақылауға дейін біздің техникалық команда сізге біз жеткізетін әрбір құрамдас бөліктен ұзақ мерзімді құндылық пен сенімділікке қол жеткізуге кепілдік береді.

● SiC және GaN эпитаксиалды өсуі

● Металл органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD)

● Төмен/жоғары қысымдағы химиялық булардың тұндыру (LPCVD / HPCVD)

● Сапфир және SiC кристалды өсіретін пештер

● Жетілдірілген жұқа пленканы өңдеу камералары

кремний карбиді эпитаксиалды өсу пеші және негізгі керек-жарақтар

Қытайдағы жетекші TaC қапталған айналмалы пластина өндірушісі және жеткізушісі ретінде, терең салалық тәжірибесі, дәл жабын технологиясы және инновацияға берік міндеттемесі бар Semixlab жартылай өткізгіш өнеркәсібінің қатаң стандарттарына сәйкес келетін TaC қапталған компоненттерді жеткізеді. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес боламыз деп шын жүректен үміттенеміз.

Негізгі физикалық қасиеттер және өнімділік артықшылықтары

1. Ерекше термиялық тұрақтылық

TaC балқу температурасы 3880°C-ден асады, бұл ұзақ уақыт жоғары температурада өңдеу кезінде қапталған айналу тақтасын ерекше тұрақты етеді.

Бұл термиялық төзімділік MOCVD, LPCVD және PVD жүйелері үшін өте маңызды, мұнда субстраттар құбылмалы және экстремалды температураларға ұшырайды.

2. Жоғары химиялық инерттілік

Тантал карбиді көптеген агрессивті газдар мен коррозиялық жанама өнімдерге, соның ішінде хлор, сутегі және галогенді қосылыстарға химиялық инертті.

Бұл химиялық төзімділік ұзақ мерзімді өнімділікті қамтамасыз етеді және SiC эпитаксисі, GaN тұнбасы және оксид қабықшасының өсуі үшін маңызды ластану қаупін азайтады.

3. Керемет қаттылық пен эрозияға төзімділік

Викерс қаттылығы 2000 ВВ жоғары, TaC қапталған беті айналмалы механизмдердің механикалық тозуына және бөлшектердің соққысына қарсы тұрады.

Артықшылық қызмет мерзімін ұзартады және ауыстыру жиілігін төмендетеді, жартылай өткізгіш өндірісінде техникалық қызмет көрсетудің тоқтап қалуын азайтады.
сызықтар.

4. Тамаша жабынның біркелкілігі және адгезиясы

Semixlab компаниясының CVD жабынының меншікті процесі біркелкі процесс нәтижелері мен бөлшектердің минималды түзілуі үшін маңызды болып табылатын тығыз, біркелкі және жақсы жабысатын TaC қабаттарын қамтамасыз етеді.