LPE PE2061S үшін SiC жабыны бар үстіңгі тақтайша

LPE PE2061S үшін SiC жабындысымен қапталған үстіңгі тақта - LPE PE2061S сұйық фазалық эпитаксия жүйесінің жоғарғы реакция аймағына орнату үшін арнайы жасалған құрылымдық компонент. Қосылыс жартылай өткізгіш өндірісінде, әсіресе LPE өсіру процестерінде, жылу өрісінің тұтастығы және ластануды бақылау эпитаксиалды қабат сапасы үшін өте маңызды. Реактор жинағының үстінде орналасқан үстіңгі тақта камераның геометриясын сақтауда, жылу ортасын тұрақтандыруда және ұзақ уақыт бойы жоғары температурада жұмыс істеу кезінде ішкі процестің тазалығын сақтауда маңызды рөл атқарады.

LPE PE2061S жүйесінде үстіңгі пластина жылу ағынының үлгілері мен реактордың тұрақтылығын анықтайтын жабық жылулық құрылымның бөлігі ретінде бастапқы өсу аймағының үстіне орнатылады. Ол пластинамен немесе балқытылған ерітіндімен тікелей жанаспаса да, оның құрылымдық және жылулық қасиеттері камера ішіндегі жалпы температураның таралуына әсер етеді. Сұйық фазалық эпитаксияда өсу жылдамдығын, қоспалардың қосылуын және беткі қабаттың тегістігін бақылау үшін дәл температура градиенттері қажет. Үстіңгі құрылым компоненттеріндегі кез келген деформация, беткі деградация немесе тұрақсыздық жылулық шағылысу мен өткізу жолдарын бұзады, бұл біркелкі емес өсу жағдайларына әкеледі. Semixlab SiC жабынды үстіңгі дискілері 700°C-тан 1100°C-қа дейінгі қайталанатын жылулық цикл кезінде өлшемдік тұрақтылықты және құрылымдық қаттылықты сақтайды.

Жоғарғы пластина жоғары тазалықтағы изостатикалық графиттен жасалған және тығыз, біркелкі кремний карбиді (SiC) қабатымен қапталған, механикалық беріктікті озық химиялық қорғаныспен үйлестіреді. SiC жабыны жоғары инертті диффузиялық тосқауыл ретінде әрекет етеді, графит негізін реактивті булардан және сұйық фазалық эпитакси (LPE) орталарында болуы мүмкін металл заттардан оқшаулайды. SiC-мен қапталған беті бөлшектердің түзілуімен, көміртек диффузиясымен және коррозияға байланысты ыдыраумен байланысты тәуекелдерді айтарлықтай азайтады, эпитаксиалды қабаттың тұрақты жұмысын қамтамасыз етеді.

Термиялық тұрақтылық - кремний карбиді жабындысының үстіңгі тақтасының тағы бір маңызды ерекшелігі. Кремний карбиді тамаша жылу өткізгіштік пен жылу соққысына төзімділікті көрсетеді, бұл жылудың біркелкі таралуын қамтамасыз етеді және қыздыру және салқындату циклдары кезінде жергілікті кернеу концентрациясын азайтады. Үстіңгі тақта PE2061S реакторында тұрақты және болжамды жылу өрісінің пайда болуына ықпал етеді, қайталанатын эпитаксиалды өсу жағдайларын қолдайды және партиядан партияға консистенцияны жақсартады. Жоғары дәлдіктегі сұйық фазалы эпитакси (LPE) өндірістік орталарында реактордың симметриясын сақтау және жылулық деформацияны азайту қатаң процесті басқаруға қол жеткізу үшін өте маңызды.

Semixlab компаниясының LPE PE2061S үшін SiC жабындысымен қапталған үстіңгі тақтасы жабынның адгезиясының, қалыңдығының біркелкілігінің, бетінің тұтастығының және өлшемдік дәлдігінің дәл сәйкестігін қамтамасыз ету үшін қатаң сапа бақылауынан және зауыттық сынақтан өтеді. Бұл компонент PE2061S жүйесінің архитектурасымен үйлесімділік үшін арнайы жасалған, эпитаксиалды реактор жинақтарымен дәл туралауды және үздіксіз интеграцияны қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, үстіңгі тақта жоғары сапалы сұйық фазалы эпитаксийді қолдайтын маңызды реактор компоненті ретінде қызмет етеді. LPE эпитаксиалды процестерінде бұл бөлік ластануды бақылауды жақсартуда, тұрақты жылу өнімділігін сақтауда және озық қосылыс жартылай өткізгіш өндіріс орталарында ұзақ мерзімді пайдалану сенімділігін арттыруда маңызды рөл атқарады. Сіздің қосымша сұрақтарыңызды күтеміз.