ICP оюға арналған SiC пластина

Мүмкіндік талаптары: талап етілетін плазмалық орталар үшін оңтайландырылған

ICP өңдеу ортасының қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін SiC пластинасының келесі негізгі сипаттамалары болуы керек:

● Өте жақсы жылу өткізгіштік

SiC өте жоғары жылу өткізгіштікке ие, бұл кварц немесе алюминий тотығы сияқты дәстүрлі материалдардан әлдеқайда асып түседі. Бұл оның жергілікті қызып кетудің тиімді алдын ала отырып, вафлиден қашыртқылау процесі кезінде пайда болатын жылуды тиімді өткізе алатынын білдіреді.

артықшылықтары: Вафли бетінде біркелкі температураны қамтамасыз етіңіз, нәтижесінде жоғары дәйекті өңдеу тереңдігі мен критикалық өлшемді (CD) бақылау, шығымдылықты айтарлықтай жақсартады және пластинаның қалдықтарын азайтады.

● Жоғары плазмалық соққыға төзімділік

ICP өңдеудің плазмалық ортасында материал жоғары энергиялы иондық бомбалау мен белсенді бос радикалдардың химиялық коррозиясына ұшырайды. SiC өте жақсы плазмалық төзімділікке ие, әсіресе құрамында фтори бар немесе хлор бар газдарда.

артықшылықтары: Вафельді тасымалдағыштың қызмет ету мерзімін едәуір ұзартады, ауыстыру жиілігін және тоқтап қалу уақытын азайтады, осылайша операциялық шығындарды азайтады және жабдықты пайдалануды жақсартады. Сонымен қатар тұрақты материал қасиеттері бөлшектердің ластану қаупін де азайтады.

● Температураның тамаша біркелкілігі

Оның жоғары жылу өткізгіштігі мен жылу кеңеюінің төмен коэффициентімен үйлескенде, SiC тасымалдаушылары пластинаның бүкіл бетінде тамаша температура біркелкілігін сақтай алады. Бұл дәл ою үшін өте маңызды, әсіресе GaN сияқты сезімтал материалдар үшін.

артықшылықтары: Әрбір құрылғы үшін дәйекті оюды қамтамасыз етіңіз, құрылғы өнімділігінің ауытқуларын азайтыңыз және жарықдиодты өнімдердің жоғары сапасы мен сенімділігін қамтамасыз етіңіз.

Бұл өнімділік мүмкіндіктері жарықдиодты пластинаны жасауда қайталанатын және дәл оюға қол жеткізу үшін өте маңызды.

Неліктен Semixlab таңдау керек: арнайы шешімдер. Сенімді сапа

Semixlab таңдау өнімділікті, сенімділікті және теңшелген қызметтерді таңдауыңызды білдіреді:

1. Әртүрлі техникалық сипаттамалар қол жетімді және теңшелген қызметтер ұсынылады:

Біз әртүрлі ICP сызу жабдықтары мен процестерінің пластинаның өлшеміне, саңылаулардың орналасуына және қысу әдісіне бірегей талаптары бар екенін жақсы білеміз. Semixlab негізгі нарық қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін SiC пластинкаларының әртүрлі стандартты сипаттамаларын ұсынады.

Ең бастысы, біз кәсіби теңшеу қызметтерін ұсынамыз. Сізге арнайы өлшемдер, күрделі құрылымдық конструкциялар немесе нақты процестер үшін оңтайландыру қажет пе, біздің инженерлік команда арнайы шешімдерді ұсыну үшін сізбен тығыз жұмыс істей алады. Бұл сіздің жабдық пен процеске тамаша сәйкес келетін, өндіріс тиімділігі мен кірістілігін арттыратын тасымалдаушыны алуға болатындығын білдіреді.

2. Тұрақты сапа және жылдам жеткізу

Біздің сапаны бақылаудың қатаң жүйеміз партиялар арасындағы сәйкестікті қамтамасыз етеді, ал біздің тиімді өндіріс пен логистика өндірістің тығыз кестелеріне сәйкес келуге көмектесетін жылдам жеткізу уақытына кепілдік береді.

Trust Semixlab – Жетілдірілген плазмалық өңдеудегі SiC материал серіктесіңіз

Жартылай өткізгіш жабындар өнеркәсібіне қызмет көрсететін көп жылдық тәжірибесі бар Semixlab процесс тұрақтылығы мен өнім сапасын жақсартатын компоненттерді жеткізу үшін терең материал тәжірибесін, ең соңғы өңдеуді және тұтынушыға бағытталған қызметті біріктіреді.

Қолданылуы: Жарықдиодты өнеркәсібінде ICP сызу үшін әзірленген

Жетілдірілген жарықдиодты өндіріс процесінде ICP (индуктивті қосылатын плазма) оюы ​​жартылай өткізгіш пластиналардағы дәл микро өрнекке қол жеткізу үшін маңызды қадам болып табылады. Semixlab компаниясының SiC пластинасы ICP өңдеу процесінде жоғары сенімді вафельді тасымалдаушы немесе ұстаушы ретінде қызмет етеді. Оның берік материал қасиеттері тіпті экстремалды плазмалық жағдайларда да процестің тұрақтылығын қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары өнімді, жоғары біркелкі жарық диодты өндіріс желілері үшін маңызды құрамдас етеді.