Реттелетін sic қапталған вафельді сенсор

SiC жабынымен қапталған вафельді қабылдағыш жартылай өткізгіш өндірісінде, әсіресе MOCVD, PECVD және CVD сияқты эпитаксиалды өсу процестерінде маңызды компонент болып табылады. Ол біркелкі жылу беруді және ластанусыз өңдеуді қамтамасыз ете отырып, жоғары температура, коррозиялық және вакуумдық ортада пластиналарды қолдайтын тұрақты тасымалдаушы ретінде қызмет етеді. Тазалығы жоғары графит қабылдағышқа CVD SiC жабынын қолдану арқылы сенсор керемет жылу өнімділігін жоғары химиялық төзімділікпен біріктіреді, бұл оны келесі буын жартылай өткізгіштер өндірісі үшін таптырмас етеді.

Материалдың құрамы және физикалық қасиеттері

Semixlab ұсынған SiC вафельді қабылдағыш екі негізгі материал арқылы жасалған:

CVD SiC жабыны

●Айрықша қаттылық (Mohs 9+) және төзімділік

●Бөлшектердің пайда болуын азайту үшін жоғары тазалық (>99.999%)

●Корозиялық газдарға (HCl, NH₃, H₂ және т.б.) қарсы тамаша химиялық инерттілік.

●**1600°C дейінгі термиялық тұрақтылық

●Ұзақ қызмет ету мерзімі үшін тығыз, біркелкі жабын қалыңдығы

Жоғары тазалықтағы графиттік сенсор

●Тұрақты температураны бөлу үшін жоғары жылу өткізгіштік

●Монолитті керамикамен салыстырғанда жеңіл құрылым

●Вафельді тегістікке қойылатын қатаң талаптарды қанағаттандыру үшін дәлме-дәл өңделген

●Термиялық цикл кезінде тұрақты механикалық беріктік

Бұл біріктірілген қасиеттер SiC қапталған сенсорды термиялық соққыға, плазмалық эрозияға және бөлшектердің ластануына жоғары төзімді етеді, бұл тұрақты пластинаның сапасын қамтамасыз етеді.

Жартылай өткізгішті өңдеудегі қолданбалар

SiC жабынымен қапталған вафельді қабылдағыш жетілдірілген жартылай өткізгіш процестерде кеңінен қолданылады, атап айтқанда:

●Эпитаксиалды пластинаның өсуі (Эпи вафли өндірісі): SiC, GaN, GaAs және басқа қосылыс жартылай өткізгіштердің эпитаксиалды тұндыру кезінде біркелкі қыздыруды қамтамасыз етеді және пластинаның иілуін азайтады.

●MOCVD және CVD процестері: Біркелкі жұқа қабықшаны тұндыру үшін химиялық тұрақты, жоғары таза бетті қамтамасыз етеді.

●Жарықдиодты және қуатты жартылай өткізгішті жасау: Жоғары температуралы өсу камераларында жарықтығы жоғары жарықдиодты пластиналар мен кең жолақты материалдарды қолдайды.

●Жоғары температурадағы күйдіру және диффузия: Қайталанатын термиялық циклдар кезінде құрылымдық тұрақтылықты сақтай отырып, ластануды болдырмайды.

Жылу беруді оңтайландыру және бетінің тұтастығын сақтау арқылы қабылдағыш пластинаның шығымдылығына, біркелкілігіне және ақауларды азайтуға тікелей әсер етеді, бұл оны эпитаксиалды технологиялық желілердегі маңызды компонентке айналдырады.

Semixlab бәсекелестік артықшылықтары

Semixlab-те біз стандартты құрамдас бөліктерден көбірек қамтамасыз етеміз — біз жартылай өткізгіш өндірушілердің күрделі талаптарына жауап беретін арнайы шешімдерді жеткіземіз:

Теңшеу сараптамасы

Белгілі бір MOCVD/CVD реакторларына сәйкес келетін әртүрлі өлшемдегі, пішіндегі, жабынның қалыңдығы мен геометриядағы сенсорларды жобалау және өндіру.

SiC қапталған вафли ұстағышы

Кремний карбидімен қапталған вафельді сіңіргіш

Техникалық кеңес беру

Сарапшы инженерлік топ вафли шығымдылығын жақсарту және сезімталдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту үшін процеске қатысты ұсыныстар береді.

Экстремалды жағдайды сынау

Барлық өнімдер нақты процесс жағдайында термиялық тұрақтылық, химиялық төзімділік және механикалық төзімділік үшін қатаң сынақтан өтеді.