EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Кеуекті керамикалық вакуумдық патрон
Қысқаша мәліметтер:
1. Басқа атаулар: Кеуекті керамикалық вакуумдық патрон, Кеуекті SiC патроны, кеуекті патрон.
2. Қолданылуы: Жартылай өткізгішті өндіруге, пластинаны кесуге, дәл өңдеуге, жоғары температурадағы эпитаксияға, ою, ионды имплантациялау және басқа сценарийлерге жарамды пластиналар мен құймаларды дәлдікпен адсорбциялауға және бекітуге арналған жоғары өнімді вакуумды адсорбциялық құрылғы.
3. Негізгі параметрлер:
Кеуектілігі реттеледі (10-200мкм).
Өте жоғары температура (≤1600°C), термиялық соққыға тамаша төзімділік.
Адсорбциялық вакуум: стандартты -90кПа (100кПа теңшеуге болады).
Сору шыныаяқының өлшемі: 4/6/8/12 дюймдік вафлиді қолдайды, құйма өлшемін реттеуге болады.
сипаттамасы
Керамикалық вакуумдық патрон - пластиналар мен құймаларды дәлдікпен адсорбциялауға және бекітуге арналған жоғары өнімді вакуумды адсорбциялық құрылғы. Ол адсорбциялық күштің біркелкі таралуына және жоғары тұрақтылыққа қол жеткізу үшін ауа арналары мен кеуектердің теңшелген дизайнымен үйлесетін кеуекті керамика + металл сыртқы сақинаның композициялық құрылымын қабылдайды. Жартылай өткізгішті өндіру, пластинаны кесу, дәл өңдеу және басқа сценарийлер үшін қолайлы, жоғары температураны, жоғары жылдамдықты қозғалыс ортасын қолдайды, әртүрлі өлшемдегі вафли/құймалардың үйлесімділік талаптарына жауап бере алады.
Таңдамалы қызмет
Өлшем және жүктемені теңшеу
Стоматалар мен тыныс алу жолдарын оңтайландыру
Қоршаған ортаға арнайы бейімделу
Дизайн үлгісі
Бағдарламалар
Жартылай өткізгішті жасау
Эпитаксиалды өсу: бұрылыс пен ластануды болдырмау үшін жоғары температурада SiC пластинкаларының тұрақты адсорбциясы.
Литография және ою: графикалық туралаудың дәлдігін қамтамасыз ету үшін жоғары жылдамдықты қозғалатын платформада дәл позициялау (үдеу ≤10G).
Құйманы өңдеу
Кесу және ұнтақтау: дірілден туындаған жиектердегі крекингті басу үшін ауыр кристалды құйманы (мысалы, сапфир, кремний карбиді құймасы) адсорбциялау.
Ғылыми зерттеулер және арнайы технология
Жоғары температурада жасыту: кеуекті кремний карбиді сорғыштар 1600°C температурада ұзақ уақыт бойы деформациясыз және ауаны ластамай жұмыс істейді.
Вакуумдық жабын: жоғары ауа өткізбейтін дизайн, PVD/CVD қуысының ортасымен үйлесімді.
бәсекелестік артықшылықтарын
Негізгі құрылым және материалдың артықшылықтары
1.Көпқабатты композиттік дизайн
Беткі қабат: кеуекті керамика (қосымша кеуекті кремний карбиді немесе кеуекті графит), жергілікті кернеу концентрациясын болдырмау үшін адсорбциялық күштің пластинаның бетіне біркелкі берілуін қамтамасыз ету үшін апертура реттелетін (10-200 мкм).
Матрица: Құрылымдық тірек пен ауа өткізбейтіндігін қамтамасыз ету үшін жоғары қатты металл жақтау (тот баспайтын болат немесе алюминий қорытпасы).
Тыныс алу жолдары және тесіктер: дәл өңделген тыныс жолдарының ішкі желісі және біркелкі бөлінген микрокеуектер жылдам вакуумды экстракцияны (-90кПа дейін адсорбция күші) және лезде босатуды қолдайды.
2. Материалдық қасиеттерді салыстыру
| материал | Кеуекті кремний карбиді | Кеуекті графит |
| Температураға төзімділік | Өте жоғары температура (≤1600°C), термиялық соққыға тамаша төзімділік | Орташа жоғары температура (≤800°C), жақсырақ жылу өткізгіштік |
| Химиялық төзімділік | Қышқылдық және сілтілік коррозияға төзімділік, плазмалық коррозияға төзімділік | Тотықтырмайтын газдарға төзімді, құны төмен |
| Қолданылатын сахна | Жоғары температура эпитаксисі, офорт, иондық имплантация | Вафлиді кесу, ұнтақтау, орау |
3. Негізгі өнімділік және техникалық параметрлер
| сипаттамасы | ескерту |
| Патрон өлшемі | 4/6/8/12 дюймдік вафлиді қолдайды, құйма өлшемін реттеуге болады |
| Loading | Бір пластинадағы максималды жүктеме 50 кг (биіктігі ≤300 мм) |
| Жұмыс температурасы | Кеуекті кремний карбиді: -50°C~1600°C; Кеуекті графит: -50°C~800°C |
| Адсорбциялық вакуум | Стандартты -90кПа (-100кПа теңшеуге болады) |
FAQ
С: Кеуекті кремний карбиді мен кеуекті графит патронын қалай таңдауға болады? Кеуекті кремний карбиді мен кеуекті графит патронының жоғары температуралық процестердегі негізгі айырмашылықтары қандай? Қолдану сценарийі үшін дұрыс материалды қалай таңдауға болады?
A: Кеуекті кремний карбидті патрон:
Температураға төзімділік: ≤1600°C өте жоғары температурада тұрақты жұмыс істей алады (мысалы, SiC эпитаксисі, жоғары температурада күйдіру), тамаша термиялық соққыға төзімділік, температураның күрт ауытқуы болған жерге жарамды.
Коррозияға төзімділік: күшті қышқылға, сілтіге және плазмалық эрозияға төтеп бере алады, ою, иондық имплантация және басқа коррозиялық газ процестеріне жарамды.
Кеуекті графит Чак:
Жылу өткізгіштік: Жоғары жылу өткізгіштік (200-400 Вт/м·К), жылдам жылу беруді қажет ететін сценарийлер үшін қолайлы (мысалы, вафельді кесу жылу диссипациясы).
Үнемділік: Төмен құны, ≤800°C орташа температуралық орта үшін қолайлы (орау, ұнтақтау сияқты).
Таңдау бойынша ұсыныстар:
Егер процесс температурасы > 800°C болса немесе коррозияға төзімділік қажет болса, кеуекті кремний карбидіне артықшылық беріледі; Егер үнемді және төмен технологиялық температураға ұмтылсаңыз, кеуекті графитті таңдай аласыз.
