EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Тазалығы жоғары кварц пластинасы
Semixlab компаниясының жоғары тазалықтағы кварцты вафельді тасымалдағыштары (сонымен қатар кварцты вафельді қайық тасымалдағыштары ретінде белгілі) диффузия, тотығу, LPCVD, ALD, күйдіру және вафельді тазалауды қоса алғанда, жетілдірілген жартылай өткізгіш процестерде дәлдікпен вафли өңдеуге арналған. 99.99% таза балқытылған кварцтан жасалған олар тамаша термиялық тұрақтылықты, бөлшектердің аз түзілуін және жоғары химиялық төзімділікті ұсынады. Біз жаһандық жартылай өткізгіш өндірушілердің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін тапсырыстық өндірісті, процеске тән техникалық қолдауды және прототипті іріктеуді қамтамасыз етеміз.
сипаттамасы
Жоғары тазалықтағы кварцты вафельді тасымалдаушы (сонымен қатар жоғары тазалықтағы кварцты вафельді қайық ретінде белгілі) жартылай өткізгіштерді өндіру процестеріндегі маңызды құрамдас болып табылады. Кремний пластинкаларын қауіпсіз ұстауға және тасымалдауға арналған, ол диффузия, тотығу, LPCVD, ALD, күйдіру және тазалау процестері кезінде вафлидің дәл туралануын қамтамасыз етеді.
Оның жоғары таза кварц конструкциясы ластануды болдырмайды және пластинаның тұтастығын сақтайды, таза бөлме жағдайында тұрақты кірістілік пен оңтайлы өнімділікті қамтамасыз етеді.
Материалдық және физикалық қасиеттер
●Материал: 99.99% жоғары таза синтетикалық балқытылған кварц
Негізгі физикалық қасиеттер мен параметрлер:
●Тазалық: ≥ 4N (99.99%) – металдар мен бөлшектердің ластануын азайтады
●Термиялық төзімділік: үздіксіз жұмыс кезінде 1,050°C – 1,200°C дейін тұрақты
●Термиялық соққыға төзімділік: жылу кеңеюінің төмен коэффициенті (0.55×10⁻⁶/°C)
температураның жылдам өзгеруіне төзімділікті қамтамасыз етеді
●Химиялық тұрақтылық: қышқылдық және сілтілі технологиялық газдарға тамаша төзімділік
●Өлшемдік дәлдік: біркелкі вафли аралығы үшін ±0.05 мм шегінде төзімділік
●Бетті әрлеу: пластинаның сызаттарын болдырмау үшін ультра тегіс жылтыратылған беттер (Ra ≤ 0.2 мкм)
●Мөлдірлік: Оптикалық процесті бақылау үшін жоғары ультракүлгін және инфрақызыл өткізгіштік
Бағдарламалар
Жоғары тазалықтағы кварцты вафельді тасымалдаушылардың процестерде қолданылуы
Тазалығы жоғары кварц пластинкаларының әмбебаптығы жартылай өткізгішті өндіру қадамдарының кең спектрін қамтиды. Олардың берік дизайны мен материалдың тұтастығы ең қиын орталарда да оңтайлы өнімділікті қамтамасыз етеді:
●Диффузиялық және тотығу пештері: Осы маңызды жылу процестерінде біздің кварцты вафельді қайық тасымалдаушылар пластинкаларға тұрақты, ластанбай қолдау көрсетеді. Олардың жоғары термиялық тұрақтылығы және төмен термиялық кеңеюі пластиналардағы кернеуді болдырмайды, пленканың біркелкі өсуін және құрылғының жұмыс істеуі үшін маңызды қоспа профильдерін қамтамасыз етеді.
●Химиялық будың тұндыруы (CVD): CVD кезінде жұқа қабықшалар пластинкаларға салынады. Біздің кварц тасушылар реактивті газдар мен жоғары температура болған жағдайда да олардың құрылымдық тұтастығы мен тазалығын сақтайды, бөлшектердің пайда болуына жол бермейді және жоғары сапалы пленканың тұнбасын қамтамасыз етеді.
●Қатты күйдіру: Имплантациядан кейінгі жасыту температураны дәл бақылауды қажет етеді. Кварц тасымалдаушылары вафли бойынша біркелкі жылудың таралуын қамтамасыз етеді, кристалдық торларды жөндеуге және қоспаларды енгізбестен қоспаны белсендіруге ықпал етеді.
●Ылғалды ою және тазалау: Әдетте құрғақ процестерде пайдаланылғанымен, кварц қайықтары белгілі бір ылғалды станцияларда да қолданылады, мұнда олардың кең ауқымды қышқылдарға (ЖЖ қоспағанда) химиялық инерттілігі арнайы тазалау немесе өңдеу қадамдары кезінде вафлиді ұстау үшін пайдалы.
●Ионды имплантациялау: Имплантацияның өзінде тікелей қатыспағанымен, кварцты тасымалдағыштар пластиналарды имплантерге тиеу және түсіру үшін пайдаланылады, бұл қауіпсіз өңдеуді қамтамасыз етеді.
●Фотолитография: Әртүрлі фотолитография қадамдары (мысалы, жабу, экспозиция, өңдеу) арасында пластиналарды тасымалдау және өңдеу үшін біздің тасымалдаушылар тұрақты және таза платформаны қамтамасыз етеді.
Әрбір қолданба жетілдірілген жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруге қажетті тазалықтың, температураны бақылаудың және механикалық тұрақтылықтың жоғары стандарттарын сақтау үшін кварцтың бірегей қасиеттерін пайдаланады.
бәсекелестік артықшылықтарын
Semixlab қызметінің артықшылықтары
Semixlab-те біз жартылай өткізгіш процестің құрамдас бөліктерінде кең тәжірибесі бар, жоғары таза кварц пластинасын тасымалдаушы сенімді өндірушіміз. Біз қамтамасыз етеміз:
● Арнайы дизайн және өндіріс – Арнайы вафли өлшемдері (4, 6, 8, 12 дюйм) және пеш түрлеріне сәйкес келетін арнайы өлшемдер, ұяшық нөмірлері және тасымалдаушы конструкциялары.
● Техникалық кеңес – Өнімділікті оңтайландыру және тоқтап қалу уақытын қысқарту үшін процеске қатысты ұсыныстар.
● Прототип және үлгі қызметі – Білікті жобалар үшін жылдам прототиптеу және үлгіні бағалау.
● Қатаң сапаны бақылау – ISO сертификаты бар өндіріс және жөнелтілгенге дейін 100% тексеру.
біздің қызметтер
Semixlab өнім дүкені
